动态二次离子质谱（D-SIMS）是利用高能量、高密度离子束对材料进行层层剥离，同时检测在不同深度下的二次离子信息，从而动态地剖析材料的元素在三维空间的分布情况。主要用于无机样品的深度剖析、痕量杂质鉴定等，在研究半导体元素掺杂、矿物地质研究、同位素分析等领域广泛使用。